大家好,小陆来为大家解答以上的问题。二氧化硅抛光液,二氧化硅抛光液这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、给你推荐个经典配置,CABOT的抛光液,罗门哈斯的抛光垫。
2、是硅片抛光吗?目前用的最广的是二氧化硅胶体为磨料的碱性抛光液。
3、磨料粒径50-100nm。
4、PRHOFFMAN公司的也还不错,国内的很少吧,基本上进口的好一些,不过要试用了才知道,设备不一样会有很大区别的我以前使用氧化铈和粗孔抛光布,比较普遍。
5、你是要问厂商还是材料啊一般用SIO2粒子研磨液,粒子SIZE(20nm-200nm),我们有韩国的牌子代替cabot在韩国,需要可以联系用金刚石抛光液3μm和无毛抛光布后再用氧化铝抛光液抛光和长毛抛光布。
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